فناوری تصفیه فاضلاب نیمه هادی الکترونیکی

انواع فاضلاب
از آنجایی که محصولات نهایی شرکت های نیمه هادی متفاوت است، انواع فاضلاب تولیدی در فرآیند تولید هر شرکت متفاوت است و طبقه بندی منابع فاضلاب تولیدی هر شرکت نیز متفاوت است. در مجموع، فاضلاب در صنعت نیمه هادی را می توان به فاضلاب حاوی فلوئور، فاضلاب حاوی فسفر، فاضلاب آلی، فاضلاب آسیاب، فاضلاب نیتروژن آمونیاکی و فاضلاب اسید-باز تقسیم کرد.

منبع فاضلاب
فاضلاب حاوی فلوئور عمدتاً از فرآیند انتشار و فرآیند آسیاب مکانیکی شیمیایی در فرآیند تولید تراشه می آید. هیدروفلوریک اسید نیز بارها در فرآیند تمیز کردن ویفرهای سیلیکونی و ظروف مربوطه استفاده می شود. این اثر مخرب قوی بر روی غشاهای مخاطی، دستگاه تنفسی فوقانی، چشم ها و بافت های پوستی دارد. آلاینده ها عمدتاً یون های فلوراید هستند.
فاضلاب حاوی فسفر عمدتاً از محلول اچینگ آلومینیوم در مهندسی تولید می آید.
فاضلاب آلی به دلیل فرآیندهای مختلف تولید، میزان حلال های آلی مورد استفاده در صنعت نیمه هادی ها دارای شکاف زیادی است. با این حال، حلال‌های آلی به‌عنوان عوامل پاک‌کننده، هنوز به طور گسترده در تمام جنبه‌های بسته‌بندی استفاده می‌شوند. بخشی از حلال تبدیل به فاضلاب آلی می شود. فاضلاب آلی عمدتاً از حلال IPA، توسعه دهنده، محلول اچینگ ITO، فاضلاب اسیدی از برج‌های ترشی و فاضلاب آلی از برج‌های ترشی به دست می‌آید. سنگ زنی فاضلاب عمدتاً از فرآیند تمیز کردن بعدی پس از برش و پرداخت ویفر حاصل می شود. آلاینده های اصلی جامدات معلق هستند. فاضلاب نیتروژن آمونیاکی عمدتاً از آب آمونیاک و فلوراید آمونیوم استفاده می شود که در فرآیند اچ کردن و تمیز کردن با آب با خلوص بالا استفاده می شود. فاضلاب اسیدی عمدتاً از فرآیند تمیز کردن در فرآیند تولید می آید. آب شستشوی معکوس فیلتر چند رسانه ای و فیلتر کربن فعال در سیستم آب خالص، آب تمیز کننده پس از بازسازی بستر مخلوط. زهکشی برج خنک کننده

فناوری تصفیه فاضلاب
تصفیه فاضلاب فلورینه
فن آوری تصفیه فاضلاب حاوی فلوئور عمدتاً روش رسوب شیمیایی به همراه رسوب انعقادی است، یعنی افزودن مواد شیمیایی برای تشکیل رسوب فلوراید یا جذب فلوراید در رسوب تشکیل شده و رسوب همزمان، و سپس جداسازی رسوب جامد برای حذف فلوئور. موضوع. در صنعت نیمه هادی، افزودن Ca(OH)2 یا مخلوطی از NaOH و CaCl2 منجر به رسوب CaF2 نامحلول می شود. با توجه به الزامات زیست محیطی بالای کارخانه های نیمه هادی، ما اغلب از CaCl2 به عنوان یک واکنش دهنده استفاده می کنیم. واکنش شیمیایی رسوب CaCl2 عبارت است از:
2F به علاوه Ca2 به علاوه → CaF2↓
در غلظت استوکیومتری کلسیم، حداکثر حلالیت نظری فلوراید کلسیم حدود 8 میلی گرم در لیتر است. بنابراین، غلظت فلوراید کلسیم که از این حد حلالیت فراتر می رود منجر به رسوب می شود. به طور کلی، زمان اقامت 0.5 ساعت در نظر گرفته می شود. نقطه ضعف رسوب CaF2 این است که رسوب ویژگی های ته نشینی ضعیفی دارد، بنابراین پس از بارش شیمیایی، منعقد کننده ها (PAC و PAM) به طور کلی اضافه می شوند تا رسوب بزرگ تری تشکیل دهند و در نهایت رسوب در یک مخزن ته نشینی حذف می شود. اگر آهک اضافی یا CaCl2 اضافه شود، غلظت فلوراید را می توان بیشتر کاهش داد. معمولاً یک فلوئور متر در مخزن واکنش تنظیم می شود تا دوز کلسیم را کنترل کند.

تصفیه فاضلاب فسفر
تصفیه فاضلاب حاوی فسفر عمدتاً به روش بارش شیمیایی و روش بیولوژیکی اعمال می شود. بیشتر تصفیه تولید برای تصفیه فاضلاب آلی فسفر استفاده می شود. فاضلاب های حاوی فسفر تولید شده در صنایع نیمه هادی عمدتاً به صورت فسفات وجود دارد که به روش رسوب شیمیایی تصفیه می شود. عامل رسوب دهنده، عامل کلسیم یا عامل آلومینیوم را می پذیرد. روشی که ما استفاده می کنیم این است که ابتدا فسفات را با CaCl2 رسوب می دهیم و سپس PAC را برای انعقاد اضافه می کنیم.
فرمول واکنش CaCl2 و PO43- این است:
Ca2 به علاوه PO{1}}→ Ca3(PO4)2↓
حلالیت نظری کلسیم فسفات حدود 20 میلی گرم در لیتر است. عملیات انعقادی بعدی رسوبات بزرگتری را تشکیل می دهد که در نهایت در یک مخزن ته نشینی حذف می شوند. واکنش عموماً تحت شرایطی انجام می شود که pH در 8-10 کنترل شود.

تصفیه فاضلاب آلی
روش های زیادی برای تصفیه فاضلاب آلی وجود دارد مانند روش لجن فعال، روش بیوفیلم، روش غشایی MBR و ... در حال حاضر عمدتا از روش اکسیداسیون تماسی برای تصفیه، روش تصفیه بی هوازی به علاوه هوازی استفاده می کنیم. این روش دارای اثر درمانی پایدار و سرمایه گذاری کم است و مورد پسند مالکان قرار می گیرد.

آسیاب تصفیه فاضلاب
آلاینده های اصلی در فاضلاب آسیاب جامد هستند، اما این ذرات جامد کوچک هستند و به سختی رسوب می کنند. به طور کلی، قطر ذرات با انعقاد افزایش می یابد تا ذرات راحت تر ته نشین شوند.

فاضلاب نیتروژن آمونیاکی
روش های تصفیه فاضلاب نیتروژن آمونیاکی شامل روش استریپینگ، روش نقطه شکست کلر، روش بیولوژیکی، روش خنثی سازی، روش بارش، روش تبادل یونی و روش جداسازی بخار می باشد. روش سلب مورد استفاده برای تصفیه فاضلاب نیتروژن آمونیاکی با غلظت بالا دارای مزایای فرآیند ساده، اثر تصفیه پایدار، هزینه ساخت سرمایه پایین و هزینه عملیاتی است و قابلیت عملی قوی دارد. هنگامی که غلظت فاضلاب نیتروژن آمونیاکی نسبتاً زیاد باشد (بیش از چند صد)، غلظت نیتروژن آمونیاکی با روش سلب کردن به کمتر از 100 میلی گرم در لیتر کاهش می یابد و نیتروژن آمونیاکی خارج شده با افزودن اسید به سولفات آمونیوم جذب می شود. ارسال شده است. فاضلاب نیتروژن آمونیاکی در صنعت نیمه هادی دارای محتوای کربن کم است و روش بیوشیمیایی مناسب نیست. روش لایه برداری و روش بارش برای فاضلاب نیتروژن آمونیاکی با غلظت بالا مناسب است. روش خنثی سازی نمی تواند آلودگی نیتروژن آمونیاکی را به طور کامل حذف کند و نیتروژن آمونیاکی را از پساب دفع کند، اما نیاز به تجهیز به یک برج جذب اضافی برای جذب دارد که برای پروژه هایی با ظرفیت تصفیه کم سرمایه گذاری نسبتا بالایی است. برخی از نیروگاه های نیمه هادی دارای مقدار کمی پساب نیتروژن آمونیاکی و غلظت کم هستند. هنگامی که غلظت 100-200 میلی گرم در لیتر است، پساب نیتروژن آمونیاکی با روش نقطه شکست کلر تصفیه می شود. این روش نیازمند سرمایه گذاری کم، ردپای کم و تجهیزات نسبتاً ساده است. یک کلر سنج در مخزن واکنش تنظیم می شود تا دوز کلر و عامل کاهنده را کنترل کند.

فاضلاب اسیدی
روش تصفیه فاضلاب اسید و باز بسیار ساده است، روش خنثی سازی اسید و باز می تواند الزامات را برآورده کند و PH مخزن واکنش را می توان طوری کنترل کرد که 6-9 مطابق با استاندارد تخلیه باشد. یک pH متر در مخزن واکنش برای کنترل دوز مواد شیمیایی تنظیم شده است.

https://www.biocell-enviro.com/